使用 GF100 MultiFloTM 技术选择和更改气体类型和满量程流量范围 具有用户友好界面的诊断和服务端口 使用耐腐蚀哈氏合金 T-Rise 传感器实现长期稳定性 超快 300ms 稳定时间 (GF125/ GF135) SDS (安全输送系统），HA（高精度）选项 具有 PTI（压力瞬态不敏感）功能的出色的抗压力波动性（GF125/GF135） 免维护结构，无机械移动部件。配备实时气流异常诊断和检测功能（GF135），可根据要求提供管道延长和连接配件。应用 用于尖端半导体制造工艺的蚀刻机、CVD 和扩散炉 尖端化合物半导体 MO-CVD OEM/MultiFloTM 支持多种气体类型和流量 减少气体管线/储备库存的使用量 减少气体用量使用PTI功能的气体系统 紧凑、轻量 对关键工艺气体进行长期稳定的流量控制，具有气流异常诊断和检测功能 规格 请随时与我们联系。制造商产品清单